本书是介绍纳米计量的发展现状、相关技术及其在多个产业中应用的一本技术专著，来源于笔者及所在实验室同仁们在纳米计量领域的研究工作。本书以纳米计量为主线，主要包括技术和应用两大部分。在技术部分主要介绍了纳米计量的基本内容以及涉及的纳米检测技术；在应用部分主要选取纳米计量在先进制造产业、生物医药产业、微电子与集成电路产业的典型应用进行介绍。本书通过对纳米计量的基本内容与应用进行介绍得以传承计量文化，普及计量知识，使读者对纳米计量这一小众学科的基础研究有所了解，对我国纳米计量体系有系统、准确的认识。 本书重点介绍了我国自主研发的纳米计量测量仪器的技术指标（已基本达到了国际先进水平），自主研发的纳米几何特征参量标准器及标准物质，同时分享了纳米计量在先进制造、生物医药、微电子与集成电路产业的多个典型应用示范。 本书不仅适合纳米计量相关的工程技术人员参考，也供高等学校仪器科学与技术专业及相关专业师生参阅。
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《纳米计量基础与应用》著者人员名单
序言
前言
目录
第1章 绪论
第2章 纳米计量
2.1 纳米计量的溯源与传递
2.2 纳米检测技术的发展
2.3 纳米几何量计量体系
2.4 国内外纳米计量领域相关委员会
第3章 纳米检测技术
3.1 光学显微成像技术
3.2 扫描探针显微技术
3.3 电子束显微技术
3.4 纳米位移测量技术
第4章 先进制造产业应用示范
4.1 平板显示领域
4.2 空气净化领域
4.3 纳米制造领域
4.4 精密加工领域
4.5 服务公共测试平台
第5章 生物医药产业应用示范
5.1 药物注册及仿制药一致性评价领域
5.2 纳米药物研究领域
5.3 医疗器械领域
5.4 公共安全领域
第6章 微电子与集成电路产业应用示范
6.1 元器件研制领域
6.2 关键参数测量领域
6.3 失效分析领域
参考文献
致谢
后折页
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